德國MLase準分子激光器MLI 1000 ARF波長193納米

MLase是紫外光醫(yī)療和工業(yè)產(chǎn)品供應商。自2007成立以來，MLase一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)創(chuàng)新型高質(zhì)量激光和光系統(tǒng)，這是高度專業(yè)化的專家團隊多年經(jīng)驗的結(jié)晶。MLase AG 為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，同時考慮到新的技術(shù)。MLase AG的質(zhì)量管理符合ISO 13485:2016標準。

ARF 和 KRF 是兩種常見的準分子激光器類型，分別代表氬氟化物激光器（ArF 激光器）和氪氟化物激光器（KrF 激光器）。它們都屬于氣體激光器的一種，使用稀有氣體和氟化物混合物作為激光介質(zhì)，并且都通常在紫外光區(qū)域產(chǎn)生激光。

ARF 激光器（氬氟化物激光器）：

   - 波長：約193納米

   - 工作介質(zhì)：氬氟化物混合氣體

   - 應用：主要應用于半導體光刻技術(shù)，用于制造集成電路芯片。

KRF 激光器（氪氟化物激光器）：

   - 波長：約248納米

   - 工作介質(zhì)：氪氟化物混合氣體

   - 應用：廣泛用于激光微加工、醫(yī)療、科學研究等領(lǐng)域，也用于半導體光刻。

這兩種類型的激光器在波長和應用領(lǐng)域上略有不同，但它們都具有高能量密度、精確的波長控制和窄脈沖寬度等特點。這使它們在諸如微加工、醫(yī)學、科學研究和半導體制造等領(lǐng)域中得到了廣泛應用。

Mlase MLI 1000 ARF準分子激光器

參數(shù)：ArF

波長（納米）：193

最大。重復率 (Hz)：1000

穩(wěn)定的脈沖能量(mJ)：6

穩(wěn)定的脈沖功率(W)：6,0

能量穩(wěn)定性 (sigma, %)：2

光束尺寸 (FWHM, V x H mm)：6x3

光束發(fā)散（FWHM，V x H mrad）：2x1

脈沖持續(xù)時間（FWHM）（ns）：5-10

型號示例：

Mlase準分子激光器MLI 500 ARF

Mlase準分子激光器MLI 500 KRF

Mlase準分子激光器MLI 200 KRF

Mlase準分子激光器MLI 1000 KRF

Mlase準分子激光器MLI 200 ARF

Mlase準分子激光器MLI 1000 ARF

德國MLase準分子激光器MLI 1000 ARF波長193納米